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真空低溫電學(xué)測試探針臺有以下十五技術(shù)指標

1、溫度范圍：80 K-475 K;

2、制冷形式：采用液氮制冷;

3、循環(huán)時間：小于2.5小時;

4、4個直流探針臂，用來做電學(xué)實驗，可進行直流到50 MHz的電學(xué)測量;

5、探針臂的可移動距離X方向51 mm;

6、*在一個探針臂上安裝溫度計，可方便實時監(jiān)測探針溫度，準確判斷系統(tǒng)是否達到溫度平衡;

7、*回溫方式：防輻射屏上安裝溫度計和加熱器，系統(tǒng)可進行快速回溫;

8、采用四通道高性能控溫儀，可分別對防輻射屏、樣品臺、探針臂進行控溫和測溫;

9、控溫穩(wěn)定性：優(yōu)于±100 mK;

10、*顯微鏡系統(tǒng)光學(xué)分辨率優(yōu)于4 μm，樣品照明采用同軸光和環(huán)形光各一套;

11、*直流探針具有Guard保護結(jié)構(gòu)設(shè)計，適合于進行微弱電信號測量，減少漏電流;

12、直流探針阻值為50歐姆，為射頻RF測量提供很好的匹配阻抗;

13、*探針臂分別在防輻射屏及樣品臺上熱沉，減少探針落針對樣品溫度的影響;

14、基礎(chǔ)溫度真空指標：約5 × 10-5 Torr;

15、 系統(tǒng)配備50 L進口液氮杜瓦.。